详解一个宝藏光源:超宽光谱、超亮的激光驱动光源LDLS
在半导体检测等诸多应用中,宽光谱光源是必备物件。比较常见的有氘灯、钨灯、氙灯等,但这些传统光源却存在一些固有的问题。
光谱测量范围上,它们都无法在200 nm-800 nm范围内保持较高的输出;寿命、亮度和稳定性上,传统光源需要在使用几百小时或更短时间就进行重新校准,使用1000-2000小时后还需更换灯泡。
而归根结底,这些都是其发光原理而带来的“先天性”缺陷。传统光源为电致发光,即通过光源灯室电极加高压激发灯室中气体放电,从而发光。这种使用电极耦合产生等离子体的方式,在亮度、稳定性、UV波长覆盖、寿命上都有很大的限制。因此,从发光原理上进行变化,光源才有可能得到真正意义上的改善。
在这样的背景下,一个革命性的光源:激光驱动白光光源(Laser Driven Light Source, LDLS),在美国zhu名EUV光源公司Energetiq(现已被滨松集团收购),诞生了。
关于这个宝藏光源,5月15日滨松工程师带来了一场详细的解析:《超宽超亮革命性光源LDLS™的基础知识及应用介绍》。介绍了LDLS的原理、性能特点、典型应用案例,以及应用中的常见问题。今天小编为大家奉上视频回放,带着大家进一步了解这个颠覆性的技术!
而LDLS产品(EQ-99X系列)也参与了近期光电汇举办的“5.16科研采购节”,看完讲座视频后,还有更多优惠在下方哦~不要错过~
内容导航
00:28 LDLS™产品简介
02:51 LDLS™性能特点
14:34 LDLS™典型应用
24:20 LDLS™常见问题解答
31:50 Q&A
37:00 联系方式
观众提问精编
Q:光源使用都必须需要充氮气?还是使用紫外时充氮气?
LDLS光源输出大量深紫外光,200nm以下的深紫外光会使氧气转化为臭氧,同时臭氧会吸收240nm~270nm的深紫外光。因此,如需使用170nm~270nm的深紫外光,光源在使用时需要充入纯净氮气。同时,充入氮气也可以防止灯泡被空气中有机蒸汽污染。为了保证光学器件的洁净,氮气需要满足6级洁净度,充入氮气的气压需要保持在0.14 MPa。
Q:光源对环境的要求是什么?高稳定性指标能到多少?
光源对环境的要求:为了防止光源光窗和其他光学器件的污染,需要将光源在相对洁净的环境中使用。光源需要向外部散发热量,需要将光源放置在散热良好的空间中。
高稳定性指标能到多少:请参照EQ-99XFC的稳定性测试情况。
Q:光束特性是什么,是准直光么,发散角是多少?
EQ-99X是自由空间输出的点光源,NA=0.47;
EQ-77是自由空间输出的点光源,NA=0.5;
EQ-400是自由空间输出的点光源,NA=0.5;
EQ-99XFC是光纤输出,NA=0.22。
Q:发光器件是耗材么,后期需要怎么维护?
我们推荐每9千小时进行一次灯泡更换,灯泡更换需要返厂,更换完成后会重新老化校准保留测试数据。
Q:紫外波段使用时高纯度氮气流量1slm,消耗量非常大,是否可能封闭灯室减少氮气用量?
封闭灯室,需要通过胶水或者焊接的方式将灯室完全密封。灯室部分,需要对灯泡和光源部分进行更换和调整,而且EQ-77,EQ-400光源,还需要水冷部分,所以无法封闭灯室,只能通过流动的氮气。
Q:能做到150mm的大光斑么?
LDLS的特点是小光斑,高亮度,通过外置光学系统,可以将光束扩大到150mm,但是光束扩大后亮度也会相应降低,所以需要总体看扩大光束后亮度降低的情况能否满足实际需求。
(来源:滨松)
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