红外线膜厚仪的测量原理简介
红外线波长从2μm到20μm的领域,发生固有的特性吸收。这种特性吸收是由分子的各原子间化学结合力和各原子的质量形成的固有独特的表现。例如图1表示水(H2O)和聚乙烯(-CH2-CH2-n的)红外吸收光谱。可以观察到水在1.9μm和2.9μm的-OH基,聚乙烯在2.3μm和3.4μm的-CH基出现吸收。
同时,图2用不同厚度水膜的红外吸收光谱表示膜厚度的差异怎么呈现在红外光谱上。
这样,由于物质材质的差异在红外线领域产生各种吸收。因此选择Z适合的波长带,测量吸收量,从理论上讲可以测量从0.1μm极薄涂层到数mm级别的厚涂层。
测厚仪的实际应用,如图3所示,预先输入测试曲线即吸光度和膜厚的关系,用测试曲线实时地将实际测定的吸光度换算为厚度值。
并且,为了尽量减少传感器的光源变动和光学系的污垢以及测量对象物的颜色等与膜厚变化没有直接关系的外在影响,Kurabo采用用了独特的3波长方式,不仅有特征吸收波长,还采用了长波参考波长和短波参考波长。
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