【设备更新仪器推荐】椭圆偏振光谱仪——UVISEL PLUS
产品名称：椭圆偏振光谱仪
产地：法国
型号：UVISEL PLUS
典型用户：NASA 戈达德太空飞行中心
薄膜厚度、光学常数表征 材料/ 表面改性研究 粗糙度、孔隙率表征 渐变层、界面层等分析 穿过率、反射率曲线测量
汽车
薄膜厚度、光学常数表征 表面粗糙度、孔隙率表征 渐变层、界面层分析 透射率、反射率测量 涂层及镀层分析
硅片上SiO? 薄膜厚度监控 光刻胶n，k（190-2100nm） SiN，SiO? 等膜厚测试 第三代半导体外延薄膜厚度
薄膜厚度、光学常数表征
工艺对镀膜的影响分析
渐变层、界面层等分析
膜层不均匀性成像分析
在线监测
具备超薄膜所需的测量精度、超厚膜所需的高光谱分辨率
多个实用微光斑尺寸选项
可用于在线实时监测
自动平台样品扫描成像、变温台、电化学反应池、液体池、密封池等
配置灵活，测量范围可扩展至 190 nm~2100 nm
小小的薄膜居然在太空望远镜上这么重要？| 前沿应用 一键操作，全自动分析——显示面板多维度薄膜分析 | 前沿应用 多维度半导体薄膜材料分析——椭圆偏振光谱表征方案 | 光谱技术头条
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