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- 【导读】 什么是质量流量计,什么是质量流量控制器呢?质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么呢?下面气体检测仪器网的专家详细为你讲解:TSI4040系列流量计质量流量控制器,即M...
什么是质量流量计,什么是质量流量控制器呢?质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么呢?下面气体检测仪器网的专家详细为你讲解:
TSI4040系列流量计质量流量控制器,即MassFlowController(缩写为MFC),不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置,是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
质量流量计,即MassFlowMeter(缩写为MFM),是一种精确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。
质量流量计/质量流量控制器的优点
(1)流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量计/质量流量控制器,则一般可以忽略不计。
(2)测量控制的自动化
质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。通常,模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA,数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口,能非常方便地与计算机连接,进行自动控制。
(3)精确地定量控制流量
质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。
(4)适用范围宽
有很宽的工作压力范围,我们的产品可以从真空直到10MPa;可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);有很宽的流量范围,我们的产品Z小流量范围可达0~5sccm,Zda流量范围可达0~200slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%,流量控制范围是满量程的2~1**%(量程比为--50:1),因此在很多领域得到广泛应用。TSI4040系列流量计
- 2004-07-14 10:19:54
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