金刚石，工程师Z好的朋友

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【导读】金刚石是一种纯碳物质，也是钻石的原石。近年来，随着开发技术难题的攻克，具有晶莹质感的钻石不仅仅是女孩们的最爱，也成为工程师最好的朋友。由于金刚石的卓越性能，金刚石纳米薄膜已经在ME...

金刚石是一种纯碳物质，也是钻石的原石。

近年来，随着开发技术难题的攻克，具有晶莹质感的钻石不仅仅是女孩们的Z爱，也成为工程师Z好的朋友。由于金刚石的zhuo越性能，金刚石纳米薄膜已经在MEMS、表面声波（SAW）器件、热量管理及摩擦涂层等方面得到广泛应用。

金刚石生长从应用技术上讲需要将纳米薄膜置于硅晶片上生长。这个技术挑战的关键，是金刚石外延生长不能直接在晶片上进行，需要在生长前先将金刚石纳米颗粒种植于晶片上。竞争性的生长过程中，往往导致表面变粗糙，不利于金刚石生长的关键应用。

为了克服表面粗糙的难题，来自卡迪夫大学、英国帝国学院和牛津大学的研究学者们组建的开发团队，共同开发出一套全新工艺，显著地降低了薄膜表面粗糙的问题。

研发人员使用LogitechTribo台式化学机械抛光设备，开发出了一套使用聚氨酯/聚酯抛光布和碱性硅胶抛光液的新方法，彻底解决了薄膜表面粗糙的问题。使用原子力显微镜（AFM）、扫描电子显微镜（SEM）和X射线光电子能谱对实验结果进行检测，结果显示：通过此方法，25μm范围内，晶片表面粗糙度从18.3nm降低至1.7nm。

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2004-10-25 09:23:04

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