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- 【导读】1、真空镀膜过程中会使用油扩散泵进行抽气,其过程中需要用循环水冷却系统进行冷却油蒸汽,为了防止返流的油蒸汽分子跑到钟罩内造成污染,同时也为了防止由于忘记开循环水冷却系统而造成的麻烦...
1、真空镀膜过程中会使用油扩散泵进行抽气,其过程中需要用循环水冷却系统进行冷却油蒸汽,为了防止返流的油蒸汽分子跑到钟罩内造成污染,同时也为了防止由于忘记开循环水冷却系统而造成的麻烦,所以我们提早打开。
2、真空泵在工作期间,油温不可以超过75摄氏度,需要循环水冷却系统对其降湿,否则会由于油的黏度过小而导致密封不严。
3、循环水系统必须恒温,恒压,恒流,从需保证真空腔及真空泵的温度要求。
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- 2004-11-03 09:23:34
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