尼康三次元VMR系列的软硬件特点之一

尼康三次元VMR系列的软硬件特点之一

NEXIV VMR系列标配硬件

一、1、2、3型机的标配硬件

专为NEXIV VMR设计的、高品质专用物镜

具有15 倍变焦比的光学头

3 个型号（1、2、3 型）各自有 5 级放大倍率。15倍变焦比的5段自动变焦镜组，可以在各段（倍率）间进行自由切换，以满足低倍大视场观察搜索和高倍精密测量两方面的需求。
上述总放大倍率为17 英寸液晶显示器，设置为 SXGA（1280×1024）模式时，显示器屏幕上的放大倍率。

已升级的TTL 激光自动对焦装置

该装置具有对焦速度快、工作距离长、测量精度高的特点，它可以在低倍条件下实现对具有高度差的狭窄区域的自动对焦。它还可以进行每秒1000 点的高速扫描，实现多种高精度 Z 轴扫描测量。

高速高精度影象自动对焦

由于采用了新的图象数据处理时序以及逐行扫描CCD，使影象自动对焦具有更高的速度和准确度。影象自动对焦适用于不能使用 TTL 激光自动对焦的场合，例如对倾斜度较大的斜面以及回转体外侧边界的对焦。利用多重影象自动对焦功能，能够同时测量视场内多个不同高度的点。

多种照明方式

VMR 系列有多种照明方式可供选择，能够为工件提供理想的照明，这包括：

二、高倍机的标配硬件

新开发的高倍头 VMR-Z120X

这种新的镜头组，通过使用可以相互切换两个物镜与变焦头的有机组合，实现从 1倍到 120 倍的光学放大倍率。该系统在高倍下具有非常高的工件视窗窗内测量重复精度，8 级放大倍率总能使您能找到一个合适的倍率，并且可以实现从低倍大视场搜索，直到*小测量线宽约为1 微米的高倍观察与精密测量。上述总放大倍率为 17 英寸液晶显示器，设置为 SXGA（1280×1024）模式时，显示器屏幕上的放大倍率。

细光束、高分辨率 TTL 激光自动对焦装置

三种照明类型

通过三种 CNC 可控照明____高倍垂直反射与透射、暗场照明，可以向各种工件提供*佳的照明，从而确保各种待测边界可被准确、可靠地探测。

通用电动物镜转换器

通过对电动物镜转换器的操控，CNC 测量程序可以改变放大倍率，并为显微观察选择*优放大倍率以及*佳的物镜。

从测量到数据处理的自动控制

易于使用的软件可控制系统所有的功能，从各种照明的控制，到图象处理以及载物台的移动，测量过程实现自动化控制，确保测量结果的准确一致。使用 LU 型时，以下操作需要手动进行：明场与暗场照明的切换；视场光阑及孔径光阑的设置；起偏器*、检偏器*与Nomarski 棱镜的设置。但此项是有电动型选配件的。

电动旋转起偏器／检偏器（选配）

LCD观测用CFI物镜

放大倍率及视场大小

LCD 物镜镜头的作用

Nomarski DIC 图象