莫失莫忘

关注领域：矿石、稀土

最新更新：2021-07-19 12:55:57

@向TA投稿

高纯水检测方法

来源：内容来源于网络浏览量：2096次

【导读】高纯水检测方法：1 主题内容与通用范围本文给出了电力半导体器件工艺用高纯水（以下称高纯水）的级别、技术要求、测试方法和规则。本标准适用于去离子处理后的高纯水。 2 引用标

高纯水检测方法：1 主题内容与通用范围

本文给出了电力半导体器件工艺用高纯水（以下称高纯水）的级别、技术要求、测试方法和规则。

本标准适用于去离子处理后的高纯水。

2 引用标准

GB 11446电子级水及其检测方法。

3 术语

3.1 电导率Electrical conductivity

在规定温度下，1cm3水溶液两相对面之间测得的电阻值的倒数。电导率通常以μS/cm为单位。

纯水的理论电导率为0.05482 μs/cm (25℃时)。

3.2 电阻率

Resistivity 电导率之倒数。

纯水的理论电阻率为18.248 MΩ.cm (25℃时)。温度升高时电阻率下降。

3.3总溶解性固体

Total dissolved solids（TDS）

水中溶解物质的总含量，包括钙镁离子、胶体、悬浮颗粒物、蛋白质、病毒、细菌、微生物及尸体。TDS通常以mg/L或ppm为单位。

3.4总硬度（DH值）

水总硬度是指水中Ca2+、Mg2+的总量。硬度一般以德国标示法为准，计为DH。即以每升水含氧化钙10mg为 1DH。小于8DH为软水、大于17DH为硬水。 1德国硬度＝国际通用硬度× 0.056，或1°DH约相当于CaCO3硬度 17.8ppm。

3.5 颗粒性物质Granular substance

除气体以外，以非液态形式分散在水中，并形成非均匀相混合物的物质。

3.6 总有机碳 (TOC: Total organic carbon)

水中以各种有机物形式存在的碳的总量。包括易被一般的强氧化剂氧化的有机物和需用特殊化学处理的有机物。

3.7 总固体 Total solid

水样蒸发、烘干后残留的固体总量。

3.8 全硅 Total silicon

水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量。全硅和可溶性硅之差即称为胶体硅。

3.9 高纯水High-pure water, Ultra-pure water

电阻率在5MΩ·cm以上，以各种形式存在的物质含量有一定规定限制的很纯净的水

3.10 原水Raw water

进入纯化处理工序之前的水。常用的原水如自来水、

地表水和地下水等。

3.11 终端 Terminal

高纯水生产流程中经过各道纯化工艺后，水的出口使用地点。可分别称为制水终端和用水终端。

3.12 微量Micro-amount

试样量在1mg左右。

3.13 痕量Trace amount

试样量在1μg左右。

3.14 百万分之一(ppm) part per million

重量比的单位，相当于每百万单位重量的溶液中含一单位重量的溶质。在水质分析中，一般也认为相当于每升中水样含杂质的毫克数(mg/L)。

3.15 十亿分之一(ppb) part per billion

重量比的单位，相当于每十亿单位重量的溶液中含一单位重量的溶质。在水质分折中，一般认为相当于每升水样中含杂质的微克数(μg/L)。

4 高纯水的级别

4.1 高纯水可分为电子级高纯水和普通高纯水，分别用符号EH和PH标志。

4.2 电子级高纯水

4.2.1 在制造工艺中使用电子级高纯水的电力半导体器件有如下特点：

a．具有精细图形结构；

b．对器件表面有特殊要求；

c．工艺对水质有特定的严格要求。

4.2.2 电子级高纯水分为两个级别：特级和1级。它们的标志分别是：特级电子级高纯水：EH—T **电子级高纯水：EH—1

4.3 普通高纯水

4.3.1 普通高纯水用于一般电力半导体器件的制造工艺中。

4.3.2 普通高纯水分为三个级别：Ⅰ级、Ⅱ级和Ⅲ级。它们的标志分别是：I级普通高纯水：PH— Ⅰ x级普通高纯水：PH—Ⅱ m级普通高纯水：PH—Ⅲ 4.4 电阻率低于5MΩ·cm的水不能称为高纯水

5 技术要求

5.1电子级高纯水

5.1.1 电子级高纯水应考核四项指标：

a. 水中自由离子浓度（主要影响电阻率）；

b．水中悬浮微粒的数量和大小；

c. 水中有机物总量；

d. 水中细菌微生物状况。

5.1.2 电子级高纯水的各项技术指标由下表

5.2 普通高纯水

5.2.1 普通高纯水主要考核其电阻率。

5.2.2普通高纯水的技术指标由下表 6 测试方法和检验规则

高纯水检测方法：

6.1 电阻率测试方法

6.1.1 用电导率测试仪测量高纯水电阻率时：

a．电导池常数选为0.1—0.01cm-1；

b．被测高纯水应处于密封流动状态，避免任何气体混入，流速不低于0.3m/s。

6.1.2 在t℃时测得的电阻率值ρt，用下式换算成25℃的电阻率ρ25：ρ25=1/{αt(1/ρt-Gt)+0.05482}

式中：ρ25——25℃时的电阻率ＭΩ.cm

ρt——t℃时的电阻率MΩ.cm

Gt——t℃时理论纯水的电导率μS/cm，其值见附录Ａ；

αt——t℃时修正系数，其值见附录A；

0.05482——t℃时理论纯水的电导率μS/cm。

6.2 其他技术指标测量方法

执行GB11446.5 ~ 11446.11中有关规定。

6.3 检验规则

6.3.1 各个级别高纯水的电阻率为经常必测项目。

6.3.2 对电子级高纯水，用水单位还应根据生产要求制定对微粒数、痕量金属、细菌、有机物、总碳、氧及二氧化硅等各项技术指标的检验规则。

6.3.3 制水工艺条件改变时，应及时对表1或表2中各项技术指标进行全面检验。

6.3.4

所有测量均应在制水终端和用水点两处测量。制水终端水的质量称为制水水质；用水点水的质量称为用水水质。对普通高纯水，用水水质和制水水质应在同**别上。对电子级高纯，主要检验用水水质，但应给出制水水质作参考。制水水质还用于检验制水设备和技术。

6.4 检验标志

在高纯水制水终端和用水点按要求进行检验后，若水质合格，应附标有下列内容的检验合格证：

a．高纯水的级别标志；

b．要求检测的技术指标及测量结果；

c. 制水单位；

d．连续供水开始日期（普通高纯水可无此项）；

e．检验员签章及检验日期。

7 取样、存贮和运输

7.1高纯水的取样

7.1.1 盛水容器必须使用塑料或硬质玻璃容器。用于测定硅或分析痕量成分时，必须使用聚乙烯等塑料容器。

7.1.2 取样前，盛水容器应预先用洗涤剂清洗干净，再用盐酸（1＋1）或10％硝酸溶液浸泡48小时（分析阴离子用的容器除外），然后用高纯水冲洗干净，再用高纯水浸泡不少于6小时。临取样时，用待测高纯水冲洗容器不少于10次，方可取样。

7.1.3 采集水样时，应先把管道中的积水放尽，并冲放5—10min，在流动状态取样，以保证水样有充分的代表性。

7.1.4 取样的体积约为容器体积的60 — 80%，不能太满。取样后应迅速把容器盖严。

7.1.5 细菌分析采样容器必须经过高温消毒处理。

7.2 高纯水的贮存与运输

7.2.1 分析高纯水中的阴、阳离子时，采集的水样可存放72小时。细菌检验时，水样存放时间不得大于4小时。

高纯水

仪器网-专业分析仪器服务平台,实验室仪器设备交易网,仪器行业专业网络宣传媒体。

2007-06-18 12:47:36

标签：

收藏(0) 赞(0) 踩(0)

随时了解更多仪器资讯，求购、招标、中标信息实时更新，厂商招商信息随时看。大量、齐全、专业的仪器信息尽在仪器网（yiqi.com）。扫一扫关注仪器网官方微信，随时随地查看仪器用户采购、招标需求！

您可能感兴趣

聚乳酸制作的方法流程聚乳酸生产是以乳酸为原料，传统的乳酸发酵大多用淀粉质2004-07-23 16:27:07

聚乳酸制作的方法流程聚乳酸生产是以乳酸为原料，传统的乳酸发酵大多用淀粉质原料，目前美、法、日等国
关于直线度怎么检测、直线度检测方法——直线度检测设备2004-09-09 09:23:04

关于直线度怎么检测、直线度检测方法直线度检测设备，今天我就告诉大家一种新型直线度检查仪。厂家直销价格优惠一、
国产注水肉类水分快速检测仪替代土方法“”注水肉检测2004-12-14 09:23:04

注水肉类水分快速检测仪范围;冠亚SFY-30R肉类水分检测仪可广泛应用于一切需要快速测定水分的行业，如肉类、
微生物检测不同类型样品处理方法-ATP荧光检测仪技术文章2006-07-21 08:49:21

微生物检测不同类型样品处理方法-ATP荧光检测仪技术文章1、固体、半固体或粘稠供试品：称
商业无菌的检验方法-ATP荧光检测仪应用文章2006-08-29 10:22:31

商业无菌的检验方法—ATP荧光检测仪应用文章商业无菌的概念：罐头食品的商业无菌是指罐头
食品车间微生物测试方法-ATP荧光检测仪技术文章2006-10-04 11:17:29

食品车间微生物测试方法-ATP荧光检测仪技术文章
芽孢总数的检验方法-ATP荧光检测仪技术文章2006-10-16 08:55:37

芽孢总数的检验方法-ATP荧光检测仪技术文章1.仪器和试剂除细菌总数测定所需的仪器和试剂
蒸煮是控制冻煮小龙虾微生物的有效方法-ATP荧光检测仪技术文章2007-03-20 11:24:34

蒸煮是控制冻煮小龙虾微生物的有效方法-ATP荧光检测仪技术文章蒸煮是控制冻煮小龙虾微生物
HACCP文件审核要点和方法-ATP荧光检测仪技术文章2007-07-12 09:47:00

HACCP文件审核要点和方法-ATP荧光检测仪技术文章HACCP认证在我国兴起至今已8
桂西北后发达地区HACCP对企业监管方法-ATP荧光检测仪技术文章2007-07-22 12:22:52

桂西北后发达地区HACCP对企业监管方法-ATP荧光检测仪技术文章自20世纪70年代，

版权与免责声明

①本文由仪器网入驻的作者或注册的会员撰写并发布，观点仅代表作者本人，不代表仪器网立场。若内容侵犯到您的合法权益，请及时告诉,我们立即通知作者，并马上删除。

②凡本网注明"来源：仪器网"的所有作品，版权均属于仪器网，转载时须经本网同意，并请注明仪器网(www.yiqi.com)。

③本网转载并注明来源的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品来源，并自负版权等法律责任。

④若本站内容侵犯到您的合法权益，请及时告诉,我们马上修改或删除。邮箱：hezou_yiqi