薄膜测量系统用于测量薄膜反射率及膜层厚度

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【导读】薄膜测量系统是专门针对半导体、材料、生物医学薄膜的实验室分析及在线监测开发的，用于测量薄膜反射率及膜层厚度的综合测量系统。该系统基于白光反射及干涉的原理来确定光学薄膜的厚度。...

薄膜测量系统是专门针对半导体、材料、生物医学薄膜的实验室分析及在线监测开发的，用于测量薄膜反射率及膜层厚度的综合测量系统。
该系统基于白光反射及干涉的原理来确定光学薄膜的厚度。可以通过对白光干涉图样进行数学运算来计算出薄膜厚度。对于单层膜来说，如果已知薄膜的n和k值就可以计算出它的物理厚度。
AvaSoft-Thinfilm软件内有一个包含大部分常用材料和膜层的n值和k值的数据库。TFProbe多层膜测量软件可以测量多达5层膜的厚度和光学常数（n、k值），实现实时或在线膜厚和折射率监控。

参数指标：

光谱范围200~1100nm测量速度2msminimum膜厚范围10nm~200μm基底厚度upto50mmthick分辨率1nm测量精度betterthan0.25%

典型应用领域：

Semiconductorfabrication(PR,Oxide,Nitride..)半导体制造Liquidcrystaldisplay(ITO,PR,Cellgap…..)液晶显示器Forensics,Biologicalfilmsandmaterials医学、生物薄膜或材料Inks,Mineralogy,Pigments,Toners印刷油墨，矿物学，颜料，碳粉Pharmaceuticals,MedialDevices制药Opticalcoatings,TiO2,SiO2,Ta2O5…..光学薄膜Semiconductorcompounds半导体化合物FunctionalfilmsinMEMS/MOEMS功能薄膜材料Amorphous,nanoandcrystallineSi非晶硅AvaSoft-Thinfilm应用系统可以搭配多种应用系统附件，例如光纤多路复用器、显微镜、过真空装置等附件，实现多点位同时测量、微区测量、过程监控等复杂领域的应用。例如：AvaSoft-Thinfilm应用系统能够实时监控膜层厚度，并且可以与其他AvaSoft应用软件如XLS输出到Excel软件和过程监控软件一起使用。

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2004-07-31 09:01:48

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