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Säntis 300全晶圆工业阴极荧光CL-SEM系统
- 品牌:瑞士attolight
- 型号: Säntis 300
- 产地:瑞士
- 供应商报价: 面议
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北京正通远恒科技有限公司
更新时间:2024-07-09 11:39:01
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企业性质授权代理商
入驻年限第4年
营业执照已审核
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- 详细介绍
产品简介
Attolight定量CL-SEM系统提供 “不折不扣”大视场快速扫描的同时获取SEM图像、高光谱CL图像和光学光谱。较小直径的晶圆,或形状混杂的衬底被手动加载到300mm的中间感受器上,然后仪器自动处理。
Säntis 300全晶圆工业CL-SEM系统是全晶圆阴极发光显微镜,可以完全自动化控制150、200和300毫米晶圆。
优点及特点
1、控制300毫米的晶圆
2、CL-SEM扫描成像效率
3、同时进行电镜成像和光学信号采集
4、边缘检测,晶圆准确定位(优于10µm)
5、对晶圆翘曲度自动映射和调整
6、Säntis 300系统提供3种不同的采集模式,为不同的需求和应用量身定制:
• 面扫描模式(FWBrush模式)
• 线扫描模式(AWPix模式)
• 多点扫描模式
产品应用
工业市场应用:
1、GaN 及其应用:
高强度LED要求高发射效率和高可靠性。以汽 车应用为例,LED故障影响安全,危及人身安 全;UVC LED 要求高的发射效率和高的发射均匀 性;LED故障会使人的生命处于危险之中,例如在灭菌和消毒应用中。
2、光子学:激光光子学
3、电力电子应用 GaN:电力电子应用需要更大的功率、更小和更轻 的包装,例如物联网或汽车应用
4、II-VI族材料:GaAs 及其应用: 太阳能, 电力电子;电力电子SiC ;µLED
其他应用举例:
1、微观结构发光二极管(MicroLed)
2、LED质量控制
3、GaN中的螺纹位错缺陷计数
4、碳化硅衬底质量控制
- 产品优势
- Attolight定量CL-SEM系统提供 “不折不扣”大视场快速扫描的同时获取SEM图像、高光谱CL图像和光学光谱。较小直径的晶圆,或形状混杂的衬底被手动加载到300mm的中间感受器上,然后仪器自动处理。
Säntis 300全晶圆工业CL-SEM系统是全晶圆阴极发光显微镜,可以完全自动化控制150、200和300毫米晶圆。 - 技术资料
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- 产品文章
电子枪: | 场发射 |
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