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OPTM 系列显微分光膜厚仪

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OPTM 系列显微分光膜厚仪 核心参数
仪器分类: 光栅型 仪器种类: 便携
详细介绍

• 使用显微光谱法在微小区域内通过JD反射率进行测量,可进行高精度膜厚度/光学常数分析。

• 可通过非破坏性和非接触方式测量涂膜的厚度,例如各种膜、晶片、光学材料和多层膜。 测量时间上,能达到1秒/点的高速测量,并且搭载了 即使是初次使用的用户,也可容易出分析光学常数的软件。

• 头部集成了薄膜厚度测量所需功能

• 通过显微光谱法测量高精度JD反射率(多层膜厚度,光学常数)

• 1点1秒高速测量

• 显微分光下广范围的光学系统(紫外至近红外)

• 区域传感器的安全机制

• 易于分析向导,初学者也能够进行光学常数分析

• 独立测量头对应各种inline客制化需求

• 支持各种自定义

测量项目:

• JD反射率测量

• 多层膜解析

• 光学常数分析(n:折射率,k:消光系数)

型号

OPTM-A1

OPTM-A2

OPTM-A3

波长范围

230 ~ 800 nm

360 ~ 1100 nm

900 ~ 1600 nm

膜厚范围

1nm ~ 35μm

7nm ~ 49μm

16nm ~ 92μm

测定时间

1秒 / 1点

光斑大小

10μm (最小约5μm)

感光元件

CCD

InGaAs

光源規格

氘灯+卤素灯

卤素灯

电源規格

AC100V±10V 750VA(自动样品台规格)

尺寸

555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自动样品台规格之主体 部分)

重量

55kg(自动样品台规格之主体部分)

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