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OPTM 系列显微分光膜厚仪
- 品牌:上海波铭
- 型号: OPTM
- 产地:浦东新区
- 供应商报价: 面议
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上海波铭科学仪器有限公司
更新时间:2024-07-29 10:34:18
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企业性质一般经销商
入驻年限第4年
营业执照已审核
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联系方式:何先生021-61052039
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- OPTM 系列显微分光膜厚仪 核心参数
- 详细介绍
• 使用显微光谱法在微小区域内通过JD反射率进行测量,可进行高精度膜厚度/光学常数分析。
• 可通过非破坏性和非接触方式测量涂膜的厚度,例如各种膜、晶片、光学材料和多层膜。 测量时间上,能达到1秒/点的高速测量,并且搭载了 即使是初次使用的用户,也可容易出分析光学常数的软件。
• 头部集成了薄膜厚度测量所需功能
• 通过显微光谱法测量高精度JD反射率(多层膜厚度,光学常数)
• 1点1秒高速测量
• 显微分光下广范围的光学系统(紫外至近红外)
• 区域传感器的安全机制
• 易于分析向导,初学者也能够进行光学常数分析
• 独立测量头对应各种inline客制化需求
• 支持各种自定义
测量项目:
• JD反射率测量
• 多层膜解析
• 光学常数分析(n:折射率,k:消光系数)
型号
OPTM-A1
OPTM-A2
OPTM-A3
波长范围
230 ~ 800 nm
360 ~ 1100 nm
900 ~ 1600 nm
膜厚范围
1nm ~ 35μm
7nm ~ 49μm
16nm ~ 92μm
测定时间
1秒 / 1点
光斑大小
10μm (最小约5μm)
感光元件
CCD
InGaAs
光源規格
氘灯+卤素灯
卤素灯
电源規格
AC100V±10V 750VA(自动样品台规格)
尺寸
555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自动样品台规格之主体 部分)
重量
约 55kg(自动样品台规格之主体部分)
仪器分类: | 光栅型 | 仪器种类: | 便携 |