THz近场显微镜主要特点：

▅  通过同步运动控制和实时位置检测实现连续运动扫描的高速数据采集

▅  结构或弯曲样品在恒定微探针/表面距离下自适应太赫兹表面扫描的光学样品形貌检测

▅  用于偏振相关测量的线偏振和圆偏振太赫兹发射器

▅  高性能太赫兹发射器/探测器组件，加上高动态范围锁定检测，可获得卓 越的信号质量

▅  用于监测微探针尖 端和样品位置的集成ccd摄像头模块

▅  集成CCD摄像头模块，用于监测微探针尖 端和样品位置系统控制和测量自动化软件，带有易于操作的图形用户界面，安装于配套PC

▅  软件实现对准监控功能和系统检测

▅  软件辅助微探针针尖到样品表面控制

▅  用于快速光学对准的时域信号预览模式

▅  数据导出为纯文本或Matlab兼容格式

▅  激光防护和防尘系统外壳

▅  开放式可扩展实验室型系统平台

THz近场显微镜技术参数：

THz近场显微镜安装要求：

振动阻尼光学台，1.5米x 1米x 1米的系统放置空间；3B级或以上激光实验室规范

THz近场显微镜应用：

▅  太赫兹超材料研究及传感应用                               ▅  半导体晶圆检验                                     ▅  薄层电阻成像

▅  石墨烯分析                                                            ▅  太赫兹器件特性                                     ▅  微观结构分析

▅  无损检测

另外，我们可以根据客户要求，结合AFM原子力显微镜技术，配置相应的散射式THz近场成像系统。

​