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MOCVD设备 NMC-4000(A)全自动PAMOCVD系统 那诺-马斯特
- 品牌:美国那诺-马斯特
- 型号: NMC-4000(A)
- 产地:美国
- 供应商报价: 面议
- 那诺—马斯特中国有限公司 更新时间:2024-04-23 10:17:06
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企业性质生产商
入驻年限第3年
营业执照已审核
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- 标签: mocvd mocvd设备 mocvd外延生长 cvd设备
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- 详细介绍
NMC-4000(A)全自动PAMOCVD系统概述:NANO-MASTER针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、加热的气体管路、950度样品台三个气体环、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10-7Torr极限真空)、PC全自动控制,完全的安全互锁。
目前,这项技术延伸到5个4"晶圆的立柜式独立批处理系统,该系统可以集成到集群配置中以满足高产量的要求。
NMC-4000(A)全自动PAMOCVD系统应用:Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)
特点:
独立系统
14”不锈钢立方体腔体
1次在8”样品台上处理1个6”晶圆片或在12”样品台上处理5片4”片子
加热的气体管路
RF等离子源,自动调谐
淋浴头气体分布
1100°C的旋转样品台
N2冲洗
全自动上下载片
可以兼容到集群配置中
- 产品优势
- 针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、加热的气体管路、950度样品台三个气体环、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10-7Torr极限真空)、PC全自动控制。
- 产品文章
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