设备简介

NE-PE13F是一款小型真空等离子处理系统，广泛应用于科研院校，企业研发单位和小批量生产打样。设备采用进口品牌高性能旋片真空泵快速产生一个小于1-2 Pa的真空压强，同时根据客户工艺要求，对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体，采用进口高品质等离子发生器，使得通入的工艺气体产生等离子体，并确保稳定产生高密度，高能量的离子。等离子体与材料发生复杂的物理，化学反应，可以实现不同的工艺功能，比如清洗，活化，刻蚀与涂敷等。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光。

 NE-PE13F 系统功能特点：

•耐用的高品质不锈钢结构和固定装置

•不锈钢托盘设计，可调节托盘间距

•8K镜面不锈钢腔体

•13.56射频等离子发生器，产生高密度等高子体，确保出众的清洗效果；

•直观的触摸屏，过程参数实时监控。

•方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求

•支持各种工艺气体，包括氩气，氧，氢，氦和氟化气体

•通过联锁门或可移动的板

•三个标准的浮子针阀流量控制器，气体控制