特性

· 4156C提供4个内置的高分辨率的源/监控单元（HPSMUs），两个电压源单元（VSUs）和两个电压监控单元（VMUs）

· 1 fA 和0.2?UV的测试精度可满足开发新工技术和评价材料

· 全Kelvin，每个HRSMU有激励源、感应和接地端

· 完成准静态的电容对电压测试

· 自动提取处理参数而不需要人工操作屏幕光标

· 用极低泄漏的SMUs测量特有泄露特性

· 用集成的脉冲发生器和选择开关自动完成器件表征

· 用内置的应力模式完成晶片的可靠性测试

· 用图形用户界面完成“点击”测试

· 基于Windows环境的图形数据分析能力

· 旋钮扫描功能可以快速检验探针是否接触正常

· 待机模式不需要外部电源

· 触发模式可以同步AC/DC测试。

· IBASIC 用户功能可以绘图和分析数据。

Agilent4156C精密半导体参数测试仪

Agilent4156C精密半导体参数测试仪是Agilent下一代的精密半导体参数测试仪，4156C为高级器件表征提供了高精

顶 ji 参数分析的实验室平台。

较高的低电流、低电压分辨率和内置准静态CV测量能力，4156C还为以后和其他的测量仪器的扩展使用提供了坚实基础。

41501B扩展测量能力到1A/200V，并给Agilent4156C增加一个低的噪声接地单元和双脉冲发生器。