产品介绍

在实际得科研生产中，由于样品/晶圆（Wafer）得尺寸越来越大，用于测试的探针台相当昂贵，我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧，功能实用，成本较低的简易式探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，隔振平台，探针座，四维调整载片台（Chuck），真空吸附系统；

技术优势

样品台XYZR四维调节，XY行程根据样品台尺寸/晶圆尺寸而定，Z轴行程10mm，XYZ整体分辨率3μm，360°旋转粗调可锁紧

兼容多种光学显微镜，可以引入光路，完成光电mapping测试    

整体尺寸小，方便携带，底部隔振地脚，提高测试稳定性

漏电流精度：10pA/100fa（屏蔽箱内）

探针采用进口交叉滚珠导轨/精密燕尾槽，线性移动，无回程差设计

1微米以上电极/PAD使用

U型探针架，可以放置多个探针座

模块参数介绍

应用领域：

半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。

实验附件及常规测试步骤：

光学隔振平台(台面>600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。

测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。

谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。