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FR-Scanner-AIO-Mic-XY300
- 品牌:希腊ThetaMetrisis
- 型号: FR-Scanner-AIO-Mic-XY300
- 产地:希腊
- 供应商报价: 面议
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岱美仪器技术服务(上海)有限公司
更新时间:2024-08-07 14:35:12
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企业性质生产商
入驻年限第1年
营业执照已审核
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联系方式:卜新萍400-852-9632
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- 详细介绍
产品简介:
FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY300模块化厚度测绘系统集成了光学、电子和机械模块,可兼用于对无图形和图形薄膜(例如微图形表面、粗糙表面)进行精确测量 。
将晶圆放置在真空吸盘上(晶圆尺寸直径≤300mm)并配备反射率标准件。 由功能强大的光学模块执行测量,光斑尺寸小至几微米。电动平台提供XY方向 300 毫米的行程,在速度、精度和可重复性方面具有优秀的性能
FR-Scanner-AIO-Mic-XY300提供了:
o 实时反射率光谱测量
o 薄膜厚度、光学特性、非均匀性测量、厚度测绘
o 使用集成的、USB 连接的高质量彩色相机进行成像
o 测量参数广泛统计数据
o 半自动图案对准功能用于测量周期性图形区域
o 不一样的软件功能,例如:Click2Move (萤幕点击定位量测点)、比例尺
附件:
FR-AutoFocus:100mm 长线性轴,用于自动对焦,具有两种操作模式:图像对焦(对比度)/ 反射强度
Rotation Module:旋转模块电动平台提供高的分辨率和精度
FR-FilterWheel:电动滤光轮模块带有可容纳 12 个滤光片的插槽由计算机自动控制: 滤光片尺寸:直径0.5英寸,蕞多6个过滤器(1英寸)
FR-AutoTurret:自动转塔由计算机控制可容纳 4 个物镜:镜头切换速度约为 1.0-3.0 秒
Lenses:长工作距离 VIS/NIR 镜头: 5X, 10X, 20X, 40X, 50X
反射式 UV/NIR 镜头: 10X, 15X, 25X, 40X
Pump:低噪音真空泵,2.5L/min,真空度-60kPa.
Chucks:6 英吋光掩模卡盘6 英吋带参考片区域 ,多晶圆卡盘(100-300 毫米和不规则形状片),包括参考区域和暗区,用于自动基准
规格:
二维厚度图:
3D厚度图:
测量原理:
- 产品优势
- FR-Scanner-AIO-Mic-XY300 是一款整合自动薄膜厚度测绘系统,用于全自动图案化晶圆上的单层和多层涂层厚度测量。电动X-Y载物台提供适用尺寸 300mm x 300mm毫米的行程,通过真空固定在载台上时进行精确测量。
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