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FR-Ultra NIR N3 晶圆厚度测量系统
- 品牌:希腊ThetaMetrisis
- 型号: FR-Ultra NIR N3
- 产地:希腊
- 供应商报价: 面议
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岱美仪器技术服务(上海)有限公司
更新时间:2024-08-07 14:35:12
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企业性质生产商
入驻年限第1年
营业执照已审核
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联系方式:卜新萍400-852-9632
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- 详细介绍
产品介绍:
FR-Ultra 是一款专用于精确测量半导体以及介电材料超厚层的专用设备。 藉由先进的光学器件,FR-Ultra 可以测量光滑或粗糙的薄膜以及较厚的基材。
典型应用包括:厚玻璃的厚度测量(厚度可达 2 毫米,透明或雾面)晶圆厚度测量(例如直径达 12 英寸的单面或双面抛光晶圆)。
FR-Ultra可以很容易地与笛卡尔坐标系和极坐标结合,用于大面积的厚度测量。
硅片厚度分布图(12英寸)
特点:
o 单击分析(无需输入初始预估值)
o 动态测量
o 内建700种以上不同材料
o 可安装多个离线分析软件
o 免费软件更新
- 产品优势
- FR-Ultra 是一款专用于精确测量半导体以及介电材料超厚层的专用设备。 藉由先进的光学器件,FR-Ultra 可以测量光滑或粗糙的薄膜以及较厚的基材。