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冷场发射电子显微镜

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详细介绍

JSM-7500F 是一款功能强大,操作简便,节约能源的分析型场发射扫描电子显微镜.JSM-7500F具有其他扫描电子显微镜没有的低电压下最高的分辨率,在1KV下,分辨率达到了1.4nm.JSM-7500F提供了以前只有在浸没型物镜中才能达到的性能(30KV下0.6nm),但是样品尺寸不会如浸没型物镜扫描电子显微镜那样受到限制,可以操控直径200mm,高10mm的样品。

JSM-7500F 是一款高防震,防噪,适应苛刻安装条件的电子显微镜.全新的操作界面,即使是没有场发射扫描电子显微镜操作经验的人员也会觉得很简单.另外,新的经济模式可以节省25%到55%的能耗。

良好图片性能的JSM-7500F,是一款适合纳米技术,材料和生物科学领域研究高端仪器。

LABe* 低角度背散射电子图像。
消除充电效应。
可得到低电压下的背散射电子像。
提供更多表面细节和成份信息。
取图自动化-可同时显示4种不同的16位信号图像。
r-Filter 能量过滤器 可得到不同能级的二次电子像和背散射电子像。
GB mode 柔和电子束模式 提供良好的低电压图像。
自动样品交换(选配)。
可插拔式in-len背散射探头。
带有自我保护的5轴马达驱动样品台。
分辨率:1.0nm(15kV)/1.4nm(1kV)
加速电压:0.1KV-30kV
放大倍数:25-100万倍
样品室尺寸:最大200mm直径样品
束流强度:1pA~2nA
检测器:上方检测器,下方检测器,低角度反射电子检测器
图片分辨率:1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840
X,Y:70mm×50mm(IA),110mm×80mm(II),140mm×80mm(III)
倾斜:-5~+70度
旋转:360度
移动距离:1.5mm~25mm

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