- 灵敏度≤ 1μm
- 主体材料为 304 不锈钢,稳定性高、耐腐蚀性好,也适合在真空中使用
- 超高精密交叉滚柱导轨,保证了产品的灵敏度、直线度等关键指标达到国际水平
- 标配分厘卡驱动,能够准确定位,还可选配差动分厘卡
型号 | FSP13-40C | FSP13-40CZ | FSP13-40R | FSP13-40L |
行程 (mm) | 13 | |||
灵敏度 (μm | ≤ 1 | |||
主体材料及表面处理 | 304 不锈钢,喷砂钝化 | |||
台面尺寸 (mm) | 40×40 | |||
导轨 | 交叉滚柱导轨 | |||
直线度 (μm) | ≤ 3 | |||
驱动位置 | ZY驱动 | 竖直驱动 | 右侧驱动 | 左侧驱动 |
负载 (kg) | 5 | 1.5 | 5 | 5 |
型号 | FSP25-65C | FSP25-65CZ | FSP25-65R | FSP25-65L |
行程 (mm) | 25 | |||
灵敏度(μm) | ≤1 | |||
主体材料及表面处理 | 304不锈钢,喷砂钝化 | |||
台面尺寸(mm) | 65×65 | |||
导轨 | 交叉滚柱导轨 | |||
直线度(μm) | ≤3 | |||
驱动位置 | ZY驱动 | 竖直驱动 | 右侧驱动 | 左侧驱动 |
负载(kg) | 7 | 2.5 | 7 |