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Si+SiO2+Ti+Pt <111> (dia2"进口薄膜)

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详细介绍

产品名称:

Si上镀SiO2+Ti+Pt<111>薄膜(进口料)

薄膜参数:

Si参数:P型,R;5-10ohm.cm

SiO2参数:300nm

Ti参数:10nm

Pt<111>参数:150nm

Pt薄膜最大热预算:<700~750degreeC/1hr

(Maximum Thermal Budget of Pt film)

常规尺寸:

dia2"±0.5mmx0.279mm、单抛;

数据图:AFM 图

标准包装:

1000级超净室100级超净袋真空包装或者单片盒装

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