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微波等离子发生设备
- 品牌:汇研
- 型号: MDLZ-1500
- 产地:江苏
- 供应商报价:面议
- 南京汇研微波系统工程有限公司
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销售范围售全国
入驻年限第9年
营业执照
- 同类产品定制专用微波反应系统(8件)
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详细介绍
仪器简介:
该设备利用频率为2450MHz的微波激励稀薄气体放电,从而产生等离子体。可用于等离子体气相沉积、等离子体气相刻蚀等实验,用于制备金刚石膜或其它多种功能薄膜,可催化引发常规化学很难实现的反应技术参数:
本设备由微波系统、真空系统、水冷系统等几部分组成
电源:AC220V,50Hz
微波功率:0-1500W连续线性可调(或0-1000W连续线性可调)
微波频率:2450MHz±50MHz
石英管反应室:φ50mm
放置样品的基片台可以方便地在放电腔内上下升降调节
放电腔两端有双层水冷套作降温保护