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爱德华STP-iXA2206
- 品牌：北京世友创业
- 型号： STP-iXA2206
- 产地：英国
- 供应商报价： 面议
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世友创业（北京）科技有限公司
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企业性质
入驻年限第9年
营业执照
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- 详细介绍
STP-iXA2206系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内领xian的性能，可将小型电源供给集成到机载控制器内（成熟的STP-iXA2205系列的zui*技术 ）。该泵的高度等于STP-A2203C的高度，也等于STP-iXA2205系列（不带其电源供给(iPS-1200)）的高度。这一完全集成的产品易于安装且占地面积小，可作为所有应用工具的一体化解决方案。
用途
金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
电子回旋共振(ECR)刻蚀
薄膜沉积CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源，射束线泵送和站
功能与优势
紧凑型设计，包括完全集成的控制器
创新性自传感轴承系统
数字化5轴控制
与现有涡轮泵相比振动级别降低了50%
可以配置为运行腐蚀性制程
技术数据
入口法兰尺寸
ISO250F/VG250/ICF305
前级抽气口尺寸
KF40
抽速N2/Ar
2200/1900ls-1
压缩比N2/H2
>108/1x104
极限压力
10-7Pa(10-9Torr)
允许的前级压力
266Pa(2Torr)
最大气流N2*（仅水冷）
3000sccm
(5.07Pam3s-1)
最大气流Ar*（仅水冷）
1400sccm
(2.36Pam3s-1)
额定速度
27000rpm
运转到90%额定速度的时间
<8分钟
固定位置
任何方向
输入电压
200-240V
最大输入功率（不带TMS）
1200VA
重量
62kg
*最大气流适用于在15-25°C之间的水冷却温度下连续泵送N2或Ar气体，并且使用前级泵（10,000l/min大小）的情况。它会随条件变化而变化。
