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世友创业爱德华STP-iXR1606

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详细介绍

STP-iXR1606系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内领xian的性能,机载控制装置中包含zui*技术 的小型电源供给。其设计理念与STP-iXA2206/iXA3306系列相同。zuixin开发的革命性转子设计提高了抽取性能,这一完全集成的产品易于安装且占地面积小,可作为所有应用工具的一体化解决方案。

应用

玻璃涂层

太阳能PVD

工业溅射

特性与优势

泵和控制器之间不需要连接电缆。消除了传统架装式控制器的安装空间和成本。

紧凑型设计使安装更加方便,占地面积更小。与STP-A1603配套时在8”TMP同类产品中抽速最高。使高气体流速领域的功耗降低了32%。标配端口包括I/O远程、RS232C、RS485、STP-Link

可选配Profibus和DeviceNet

技术数据

入口法兰尺寸

VG200/VG250

VG150


ISO200F/ISO250F

ISO160F


ICF253/ICF305

ICF203

前级抽气口尺寸

KF40

KF40

抽速



N2

1600ls-1

900ls-1

H2

1200ls-1

600ls-1

压缩比



N2

>108

>108

H2

1x103

1x103

极限压力

10-7Pa(10-9Torr)

10-7Pa(10-9Torr)

允许的前级压力

266Pa(2Torr)

266Pa(2Torr)

最大气流N2(仅水冷)

4700sccm

4700sccm


(7.94Pam3s-1)

(7.94Pam3s-1)

最大气流Ar(仅水冷)

1800sccm

1800sccm


(3.04Pam3s-1)

(3.04Pam3s-1)

额定速度

36,500rpm

36,500rpm

启动时间

8min

8min

固定位置

任何方向

任何方向

输入电压

200至240(±10)V交流

200至240(±10)V交流

最大输入功率

750VA

750VA

重量

48kg

48kg


技术资料
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