主要技术参数：

1、分辨率： 15nm (30kV, SE Image)

                       20nm (30kV, BSE Image)

2、放大倍率：20x~60,000x (有效放大倍率30,000x)

3、加速电压 ：1kV to 30kV (1/5/10/15/20/30Kv-6 step)

4、观察图像：

二次电子图像

背散射电子图像(COMPO,TOPO)

二次电子和背散射电子双重像

二次电子和背散射电子合成像

5、观察模式: 标准观察模式及BSE+低真空观察模式

6、电子枪系统:

灯丝类型：预对中钨灯丝，带韦氏帽

偏压系统：自动偏压方式

电子枪手动校正

7、透镜构成

聚光镜 : 2段式磁线圈透镜

物镜 : 1段式磁线圈透镜

8、探测器类型

E-T Detector (SE) / Solid state (4channel-BSE)

9、载物台系统：3轴操控

载物台移动范围：X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360°

10、图像光斑调整最大进程: X, Y Image Shift 150㎛（±75）

11、样品最大尺寸 :

70mm*70mm* 30mm

图像扫描速度

快速扫描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

低速扫描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)

图片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.)

图片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

图片模式3(Photo Mode 3): 5120x1920 (Scan time: 120sec.)

自动功能

自动启动，自动聚焦，自动亮度对比度调节

图像存储方式

 BMP, JPEG, PNG

数据显示

放大倍率，探测器类型，电压，真空模式，文本，标尺等

真空系统

全自动型/高者空模式+低真空模式(Multi mode)

-（旋转式机械泵）Rotary Pump/100Liters/min

-（涡轮式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 80Liters/sec