椭圆偏光技术是一种非接触式、非破坏性，以光学技术测量表面薄膜特性的方法。当一束偏振光经过物体表面或界面时，其偏振极化状态会被改变。而椭偏仪就是通过探测样品表面的反射光，来测量此改变（即反射光和入射光的振幅及相位的改变量），以决定表面薄膜的光学常数（n,k 值）及膜厚。

SpecEL 光谱式椭偏仪系统组成

宽光谱光源，导光器件，起偏器，样品台，检偏器，增强光学元件和微型线阵列CCD 光谱仪，测量软件。