舱体尺寸

直径254×深度356mm

直径200×深度280mm

宽305×高305×深406mm

宽305 ×高200×深406mm

舱体材质

标配为阳极氧化铝舱体

常用气体

空气，氧气，氢气，氩气，氮气，CF4，SF6等和其他混合气体

气路控制

标配2路MFC，PlasmaStar  100最多可选配4路，

标配2路MFC，PlasmaStar  200最多可选配5路；

控制系统

电阻触摸屏操作界面

程序控制

PC触屏控制，可编程序，无线存储数据

射频频率

13.56 MHz

射频功率

0~600W瓦之间距连续可调，自动匹配

0~1000W瓦之间距连续可调，自动匹配

电极设计

标准圆柱形笼式电极；

标准圆柱形笼式电极；

可选交替多层托盘电极；

可选RIE平面处理水冷平板电极

设备尺寸

 宽800 x 深850 x 高525mm；

宽1033 x 深850 x 高635mm；