800型光学正面和背面光刻机系统

OAI模型800光刻机是半自动,four-camera、光学正面和背面光刻机。它提供极其精确的(1碌m - 2 m碌)对准精度,旨在大大超过任何红外背后对准器性能的一个非常有竞争力的价格。通用模型800光刻机是理想的用于低产量、研发实验室和大学。

模型800光刻机配置了各种各样的的OAI紫外线光源,在权力范围2千瓦。光刻机工具可以容纳基质8英寸广场,以及晶片卡盘定位允许方便装卸。这个划算的光刻机还包括机动背后焦点,电动汽车水准和汽车差距设置。
建立在隔振平台,固定器总成担保的固定不变的面具对准精度和可重复性。使用易读的操作简化,PLC触摸屏。培训时间短,操作员可以有效地学习使用光刻机在不到一个小时。