仪器简介：
电子束入射到样品上，即可用光学方法接收并分析阴极发光（CL），从而提供样品详细的物理特性。它是一种无损的分析方法，结合电镜可提供与形貌相关的高空间分辨率光谱结果，是纳米结构和体材料的独特分析工具。
Flex-CLUE是一款高性能的CL分析仪器，适用于广泛的应用领域。它基于光纤传输，是适用于有限空间的集成化系统。

主要特点：
● 光纤耦合
●高效CL信号收集
●扫描成像、线扫描、点测量
●多种光栅选项
●多种焦长光谱仪选项：140mm-320mm
●光谱范围：200nm-1000nm或400nm-1700nm

ZD应用领域：
阴极发光光谱仪（CL）是用来表征材料中的缺陷，元素和杂质追踪的强大分析工具，广泛适用于各个应用领域。

1、材料科学

●半导体和光电材料
●介电/陶瓷
●氧化物膜
●玻璃
2、矿物、地质
●碳酸岩
●晶体
●金刚石
●锆石、方解石、白云石
3、GA
4、生命科学

CL光谱及成像：

■CL光谱：使用CL测量光谱时，可在电镜下观察并选择待测样品区域。	■快速CL成像：将扫描电子束与您的光谱仪同步，提供快速成像方案。使用HCLUE系统测量的GaN样品，测量中使用了超快SWIFTTM成像模式。
矿物样品中的白云石和磷酸钙。测量使用Flex-CLUE系统，配备iHR320光谱仪和开放电极式CCD探测器。感谢Prof A. Jambon, UPMC France提供数据	左图：使用伪彩色显示350nm-450nm之间发射光谱区。figure 1, Hyperspectral CL mapping 中图：电镜下的样品图像。figure 2, SE image 右图：对应的光谱，其中不同色彩区域与左图中显示的颜色对应。figure 3, CL spectral (RGB)