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美国SVT 脉冲激光沉积设备/PLD
- 品牌:美国SVT Associates
- 型号: PLD-01/PLD-02
- 产地:美国
- 供应商报价: 面议
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美国SVTA公司中国办事处
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企业性质
入驻年限第9年
营业执照
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- 详细介绍
●SVT SMART(Scientific Materials and Applied Research Tool)脉冲激光沉积系统具有duyi无二的优越性。它可以把激光烧蚀技术和我们所拥有的其他沉积技术(如RF源)集成于一台设备上。可以生长各种可能的材料。
●配有6个旋转靶台,实现多层薄膜结构生长。
●可与准分子激光和Yag激光相连。
●在线监控仪器做为可选件,为客户提供高质量的工艺信息反馈。
●装载室不但可以装取样品,还可以与其他生长设备或分析设备相连。
应用
●多元素复合氧化物
●高温超导材料
●磁性材料、金属材料
●低蒸汽压材料
●MEMS
基本系统
腔室及真空泵
12’’ 快速门,250l/s 分子泵,全量程规
沉积源
靶台,6X1’’(25mm) 靶,可以水平旋转,
可Z方向移动
样品台
1’’(25mm)大小,可加热至800oC(1000oC可选),可水平旋转,可Z方向移动
在线工艺监控
石英晶振沉积速率监控仪
自动化
自动化装置:
控制样品温度和旋转
靶台的位置控制
靶台旋转
气体控制
速率及厚度计算(利用QCM输出)
激光束扫描(可选)
激光束屏蔽控制
自动泵抽和充气
差分泵抽结构
RHEED分析(可选)
装载室压强监控(可选)
主要特点
RF射频等离子源(氧,氮)
升级高真空
增加进样室
升级为Laser-MBE (L-MBE)系统
自动软件控制提供更洁净的薄膜生长环境,wan美的温度控制解决方案.
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