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FEI Quanta 450FEG扫描电镜
- 品牌:美国FEI
- 型号: Quanta 450FEG
- 产地:美国
- 供应商报价: 面议
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北京源海威科技有限公司
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企业性质
入驻年限第9年
营业执照
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- 详细介绍
研究各种各样的材料,并进行结构和成份表征,是目前对扫描电镜的主流应用要求。FEI Quanta FEG系列灵活、通用,足以应对当今人们广博的研究方向这一挑战。“分析任何样品,得到所有数据”,在Quanta FEG上可得到表面像和成份像,并可辅以多种附件来确定材料的性质和元素组成。
一、 主要优点
1) 世界上**具有环境扫描技术的高分辨场发射扫描电镜
2) 在各种操作模式下分析导电和不导电样品,得到二次电子像和背散射电子像
3) zui*程度降低样品制备要求:低真空/环境真空技术使得不导电样品和/或含水样品不经导电处理即可直接成像和分析,样品表面无电荷累积现象
4) ZL的“穿过透镜”的压差真空系统,对导电和不导电样品都可进行EDS/EBSD分析,不管是在高真空模式或在低真空模式。稳定的大束流(最大 200 nA)确保能谱及EBSD分析工作的快速、准确
5) 电镜可作为一个微观实验室。安装特殊的原位样品台后,在从- 165 °C到1500 °C温度范围内,对多种样品保持其原始状态下进行动态原位分析
6) 对导电样品,可选用减速模式得到表面和成份信息
7) 直观、简便易用的软件,即使电镜新手也能轻易上手
二、 典型应用
1、纳米表征
1)金属及合金, 氧化/腐蚀, 断口, 焊点, 抛光断面, 磁性及超导材料
2)陶瓷, 复合材料, 塑料
3)薄膜/涂层地质样品断面, 矿物
4)软物质: 聚合物, 药品, 过滤膜, 凝胶, 生物组织, 木材
5)颗粒, 多孔材料, 纤维
2、原位过程分析
1)增湿/去湿
2)浸润行为/接触角分析
3)氧化/腐蚀
4)拉伸 (伴随加热或冷却)
5)结晶/相变
3、纳米原型制备
1)电子束曝光 (EBL)
2)电子束诱导沉积(EBID)
三、主要参数
1、电子光学
1)高分辨肖特基场发射电子枪
2)优化的高亮度、大束流镜筒
3)45°锥度物镜极靴,及“穿过透镜”的压差真空系统,加热式物镜光阑
4)加速电压: 200 V - 30 kV
5)束流: 最大200 nA并连续可调
6)放大倍数: 6 x 1,000,000 x (四幅图像显示)
2、分辨率
1)高真空
30 kV下0.8 nm (STEM)*
30 kV下1.0 nm (SE)
30 kV下2.5 nm (BSE)*
1 kV下3.0 nm (SE)
2)高真空下减速模式*
1 kV下3.0 nm (BSE)*
1 kV下2.3 nm (ICD)*
200 V下3.1 nm (ICD)*
3)低真空
30 kV下1.4 nm (SE)
30 kV下 2.5 nm (BSE)
3 kV下3.0 nm (SE)
4)环境真空 (ESEM)
30 kV下1.4 nm (SE)
3、检测器
1)E-T二次电子探头
2)大视场低真空气体二次电子探头 (LFD)
3)气体二次电子探头 (GSED)
4)样品室红外CCD相机
5)高灵敏度、低电压固体背散射探头*
6)气体背散射探头*
7)四分固体背散射探头*
8)闪烁体型背散射探头/CLD*
9)vCD (低电压、高衬度探头)*
10)镜筒内探头(ICD),用于减速模式下二次电子检测*
11)电子束流检测器*
12)分析型气体背散射探头 (GAD)*
13)STEM探头*
14)Nav-Cam 光学相机彩色成像,用于样品导航*
15)阴极荧光探测器*
16)能谱*
17)波谱*
18)EBSD*
19)极靴底部安装四环分隔式定向型背散射电子探头 (DBS)*
4、真空系统
1)1个 250 l/s 涡轮分子泵, 2个机械泵
2)ZL的“穿过透镜”的压差真空系统
3)电子束在气体区域的行程:10 mm或2 mm
4)可升级成无油机械泵
5)2个离子泵
6)样品室真空度 (高真空模式) < 6e-4 Pa
7)样品室真空度(低真空模式) < 10 to 130 Pa
8)样品室真空度(环境真空模式) < 10 to 4000 Pa
9)典型换样时间: 高真空模式≤ 150秒;低真空及环境真空模式≤ 270秒 (FEI标准测试程序)
5、样品室
1)左右内径284 mm
2)10 mm分析工作距离
3)8个探测器 / 附件接口
4)EDS采集角: 35°
6、样品台
1)X/Y = 100 mm
2)Z = 60 mm
3)Z向间隙75mm
4)倾斜:- 5° - + 70°
5)连续旋转360°
6)重复精度: 2 μm (X/Y方向)
7)伪全对中样品台
7、样品座
1)多样品座
2)单样品座
3)通用样品座套件*
4)适用于硅片或其它特殊要求的样品座*
8、图像处理器
1)最大6144 x 4096像素
2)图像文件格式:TIFF (8,16 or 24 bit), BMP or JPEG
3)单窗口或四窗口图像显示
4)四活动窗口
5)实时或静态按彩色或按灰度等级信号混合
6)256 帧平均或积分
7)数字动画记录 (.avi格式)
8)直方图及图像测量软件
9)DCFI (漂移补偿积分)
9、支持软件
1)SmartSCAN 智能扫描技术
2)蒙太奇图像导航
3)软件温度控制
4)FEI动画生成工具