合肥科晶1200℃多坩埚依次移动型管式炉

配有不锈钢密封法兰，上面安装有不锈钢截止阀和机械压力表

进气端法兰接口为Φ6.35卡套接头，出气端法兰接口为KF25接口

法兰密封圈采用水冷却，使用时需要通入冷却水，可在本公司选购循环水冷机

真空度：10E-2 torr（采用机械泵），10-E5 torr(采用分子泵)

一根铠装热电偶通过左端法兰通入到炉管内部，并与坩埚相连接(图1)

通过步进电机驱动使坩埚移动，并和热电偶和坩埚一起移动，实时监测样品的温度

进气端法兰转轮式法兰（图2）

可同时在转轮系统中放入4个坩埚，可交替将放入4种材料的石英坩埚自动送入到石英管中（可在真空状态或气氛保护状态进行运作

通过一步进电机控制坩埚移动的速度和位置

可控制坩埚最小移动位移为1mm

坩埚最大移动距离为200mm

配有一数显防腐型真空计

当气压在10mbar以上时，不需因测量气体种类不同而进行系数转换

对于气体的压力检测具有较高的精确度和重复性

因为传感器上镀有涂层，所以具有较好的抗腐蚀性

测量范围：3.8x10-5 -1125 Torr

此套设备中配有一2路混气系统

最大输出功率：18W

工作温度：5-45℃

最大气压：3×106Pa

精度：±1%FS

质量流量计量程：

1:0-100sccm

2:1-199sccm

可根据客户要求选购1-5路供气系统

炉管内气压不可高于0.02MPa

由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

石英管的长时间使用温度＜1100℃

对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）