-
-
微米膜厚测量仪 C11011-21W
- 品牌:日本滨松
- 型号: C11011-21W
- 产地:日本
- 供应商报价: 面议
- 滨松光子学商贸(中国)有限公司 更新时间:2024-02-04 13:42:48
-
企业性质生产商
入驻年限第9年
营业执照已审核
- 同类产品膜厚测量系统(12件)
联系方式:滨松客服400-074-6866
联系我们时请说明在仪器网(www.yiqi.com)上看到的!
-
为您推荐
- 详细介绍
- 详细参数
型号 C11011-21W 可测膜厚范围(玻璃) 25 μm to 2900 μm*1 光源 Infrared LD (1300 nm) 光斑尺寸 Approx. φ60 μm*4 工作距离 155 mm*4 可测层数 Max. 10 layers 分析 Peak detection 测量时间 22.2 ms/point*5 外部控制功能 RS-232C, Ethernet 电源 AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz 功耗 Approx. 50 VA 接口 USB 2.0 (Main unit - Computer) 可测膜厚范围(硅) 10 μm to 1200 μm*2 测量可重复性(硅) 100 nm*3 测量准确度(硅) < 500 μm: ±0.5 μm, > 500 μm: ±0.1 %*3
* 1:玻璃折射率相同。
* 2:硅折射率相同。
* 3:测量硅时为标准偏差。
* 4:可选1000毫米工作距离的型号。 (型号C11011-01WL)
* 5:最短曝光时间。产品特性● 利用红外光度测定进行非透明样品测量
● 测量膜厚度范围(玻璃):25μm-2900μm
● 测量速度高达60 Hz
● 可测量层数:10层
● 测量带图纹晶圆或带保护膜的晶圆
● 工作距离长
● Mapping功能
● 可外部控制
外形尺寸(单位:mm) - 产品优势
-
C11011-21W型光学微米膜厚测量仪利用激光干涉法原理,测量速度达60Hz,适用于产品线上在线测量。此外,与mapping工作台联用可以用于测量指定样品的厚度分布。C11011-21W应用广泛,比如用于产品制造过程监控或质量控制。
C11011-21W可测玻璃膜厚范围分别为25 μm 到2900 μm 和10 μm 到 1200 μm,可测层数zui多为10层。
- 技术资料
-