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等离子灰化机 PR500/510
- 品牌：日本雅马拓
- 型号： PR500/510
- 产地：日本
- 供应商报价： 面议
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江苏米立特科学仪器有限公司
更新时间：2021-10-21 08:23:22 -
企业性质一般经销商
入驻年限第3年
营业执照已审核
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- 详细介绍
·PR500/510等离子灰化机
高频输出 50~500W,反应腔 Φ215×305mm
低温等离子·经典桶型。
PR500：手动控制 PR510：自动触摸屏控制
低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。
用途
·去除光刻胶
·部品清洗
·界面活性处理
·微研磨
·硅晶圆，玻璃基板对应
特征
·大口径（Φ215mm）石英反应腔
·小型一体化设计
·操作简单的触摸屏方式（PR510型）
规格
型号
PR500
PR510
模式
DP模式，桶型
控制部
高频输出功率
Max500W
频率
13.56MHz
同调方式
自动协调
反应部
反应腔
石英 Φ215×305mm
反应气体
2系统（O2／CF4）
控制
手动
触摸屏自动控制
配管材质
不锈钢、特氟龙
外形尺寸
W438×D520×H760mm
参照规格书
重量
约60kg
参照规格书
电源
单相AC100V 9A
三相AC200V 8A
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