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等离子灰化机 PR200/300/301
- 品牌:日本雅马拓
- 型号: PR200/300/301
- 产地:日本
- 供应商报价: 面议
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江苏米立特科学仪器有限公司
更新时间:2021-10-21 08:23:22
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企业性质一般经销商
入驻年限第3年
营业执照已审核
- 同类产品等离子装置(8件)
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- 详细介绍
- 从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机
用途
● 高分子材料表面的官能基付与→粘合性、密着性提高。通 过氧化反应,在表面生成-OH,>C=O,-COOH等官能 基(微量的水分及二氧化碳影响)。 同样在氮气等离子体中,氮原子被吸收在表面中,生 成-NH 2等官能基。
● 硅晶圆蚀刻。
● 材料表面改性(金属、聚合物、薄膜、陶瓷等)。
● 石棉预处理(膜过滤灰化)。
● 从电子设备到生化市场。
● 低温灰化(高分子材料、煤炭、食品等)。
● 使用玻璃和PDMS板粘贴PDMS芯片。
● 表面有机物去除
特点
● RF为200 W的高性能输出类型(PR200)。
● 由于是尺寸紧凑的台式机,很小的位置都可以安装。
● 同步,自动调谐,操作简单(PR200)。
● 等离子体反应器(灰化设备)(PR200)。
● 同步、自动调谐(PR200)。
反应腔
[例]石棉分析前处理
规格
型号
PR200
PR300
PR301
模式
DP模式,桶型
控制部
高频输出
Max300W
频率
13.56MHz
同调方式
手动2轴同调方式
反应部
反应腔
耐热玻璃 Φ100×160mm
超硬质玻璃 Φ64×160mm×3室
耐热玻璃 Φ118×160mm
反应气体
1系统(氧气)流量计
控制
手动密闭阀
自动减压、自动密闭阀
配管材质
不锈钢、特氟龙、铜、铜合金
不锈钢、特氟龙
外形尺寸
W350×D400×H500mm
W438×D520×H556mm
W438×D520×H630mm
重量
约10kg
约36kg
约34kg
电源
AC100V 15A
AC100V 7A
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