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等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS
- 品牌：日本雅马拓
- 型号： V1000/1000X/1000XS
- 产地：日本
- 供应商报价： 面议
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江苏米立特科学仪器有限公司
更新时间：2021-10-21 08:23:22 -
企业性质一般经销商
入驻年限第3年
营业执照已审核
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- 详细介绍
- 13.56MHz高频输出的等离子清洗机，搭载RIE·DP双模式
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式 高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应 多种用途。
特征
● 可变更电极构造提高等离子效果。
● 搭载高精度适配器，高性能RF 电源。
● 可根据需求规格提供定制。
用途
● 硅晶圆的灰化及蚀刻
● 基板表面污垢处理
● IC/LED封装、BGA/CSP基板处理
● 半导体相关部品的电子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有机物去除
● 界面活性处理
● 表面污染物去除
内槽
规格
型号 V1000 V1000X V1000XS 等离子模式 DP/RIE 高频电源 13.56MHz 输出功率 Max1000W Max1000 & 1500W 有效电极尺寸 W280×D280mm W300×D300mm W400×D375mm 电极 平行平板 2段电极（独立） 平板（多目的） 反应气体 聚合控制器2系统（填充气路另行安装） 真空泵（标配） 约1000L/min 约1500L/min 1000 & 1500L/min 安全装置 门检测开关、联锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等
管路连接图
