-
-
法国Plassys微波等离子体化学气相沉积系统 SSDR 150
- 品牌:法国Plassys
- 型号: SSDR 150
- 产地:法国
- 供应商报价: 面议
- 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 更新时间:2024-07-16 16:58:13
-
企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
- 同类产品法国 Plassys(2件)
联系方式:廖敬强0755-81776600
联系我们时请说明在仪器网(www.yiqi.com)上看到的!
-
为您推荐
- 详细介绍
法国Plassys微波等离子体化学气相沉积系统 SSDR 150
SSDR150 微波等离子体化学气相沉积系统专门用于合成 CVD 金刚石薄膜,能够制备高纯单晶(需高纯气源)、厚单晶、大单晶、多晶薄膜、光学级窗口。SSDR150 不断优化的微波及等离子体设计,是一款可靠的、稳定的、长时间运行的金刚石薄膜生长系统,能够wan美地适用于高校科研和企业生产。
SSDR150 系统特点
。 铝合金腔体+内置石英管反应室,支持长时间高功率下工作
。工艺气压可达 350 mbar 或更高,可以高速率生长单晶
。微波源为 2.45GHz、最大功率 6 kW,高耦合效率
。标准配置 4 条气路,最多可增加至 7 条气路(掺杂气路)
。2 英寸水冷样品台,高度电动可调、精度优于 10μm (可选)
。双色红外高温计测试样品表面温度,范围 475-1475 °C
。爱德华兹分子泵+ 干泵,**真空度≤ 3×10-7 mbar
。高水平金刚石生长工艺培训及演示(内容根据应用而定)
。全自动控制、半自动和手动可用,图形化操作界面(GUI)
。多级用户设置和管理、远程诊断和维护、数据导出接口
。多用途:高纯度单晶、厚单晶、大单晶、掺杂、光学窗口
。设备维护少、安全、可靠、稳定、性价比高应用领域
。切削刀具、耐磨涂层、热沉材料、SAW
。光学窗口、激光晶体、电化学电极、CNT
。生物传感器、微机电系统、光电探测器
。商用宝石、低压高温退火处理、量子计算
SSDR150 性能表现
多晶金刚石:
• 液氮温度下 PL 检测 无明显氮
• 生长速率: 高达 10 μm/h, 取决于生长工艺
单晶金刚石:• 液氮温度下 PL 检测 无明显氮• EPR 测试氮浓度 : [Ns0] < 1 ppb• 1332 cm-1 FWHM 金刚石拉曼谱线: 1.6 cm-1• 4000 – 10000 cm-1无红外波段吸收• 生长速率: 高达 20 μm/h, 取决于生长工艺条件
- 产品优势
- 法国Plassys微波等离子体化学气相沉积系统 SSDR 150 ,专门用于合成 CVD 金刚石薄膜,能够制备高纯单晶(需高纯气源)、厚单晶、大单晶、多晶薄膜、光学级窗口。SSDR150 不断优化的微波及等离子体设计,是一款可靠的、稳定的、长时间运行的金刚石薄膜生长系统,能够wan美地适用于高校科研和企业生产。