YES-EcoCoat硅烷单层气相沉积系统

凭借其可配置的大容量腔室，手动加载的EcoCoat硅烷气相沉积系统旨在满足您的工艺开发和批量生产要求。 三条独立的蒸汽输送管线，出色的热均匀性和原位气体等离子体为系统提供了工艺灵活性，同时为晶圆，载玻片或热塑性表面保持了优异的硅烷单层沉积均匀性。

•表面改性以促进/防止粘附

•用于NIL，MEMS，AR/VR的防粘膜

•生物分子与玻璃，塑料或硅的共价键合

•等离子清洁和活化表面，控制疏水性

灵活的化学蒸汽输送系统可与多种有机硅烷兼容。 可以使用小型测试瓶或大型安瓿瓶，从而实现从研究到低成本的大批量生产的过渡。 三个独立的蒸汽输送管线可容纳多种前体或水，以实现表面水合，从而实现ZJ的硅烷与底物的结合。 集成的等离子体功能通过三个独立的MFC控制的过程气体输入来实现。 灵活的腔室搁板/电极允许从晶片（200/300 mm）到载玻片和3D热塑设备使用各种各样的基板形状因子。

技术参数

射频等离子体频率/功率：40 kHz，100-1000瓦
工作温度：环境温度205°C
温度均匀度：稳定后±1.5％
腔室压力控制：100 mT-100 T
化学用量：0.1 – 3.0 mL（典型过程）
化学分配量：增加0.1 mL
化学物数量：最多三种
排气量：平均10 SCF运行
箱体材质：316L不锈钢
腔室尺寸：40.6厘米（宽）x 46厘米（深）x 40.6厘米（高）（16“ x 18” x 16“）
系统整体尺寸：116厘米（宽）x 98.4厘米（深）x 112.73厘米（高）（46英寸x 38.75英寸x 44.38英寸）灯塔增加了30厘米
装载：12个可移动的不锈钢架子可实现灵活的基板装载和多种等离子体操作模式，包括有源，下游，RIE和离子阱
晶圆容量：8盒100毫米-150毫米晶圆/ 2盒200毫米晶圆/ 1盒300毫米晶圆
滑轨容量：使用定制机架最多可容纳2,000个
蒸汽输送线：三条，具有独立的过程和温度控制