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日本KOFLOC质量流量控制器-金属密封北京天津总代理

品牌：科赋乐
型号： 5400系列
产地：亚洲日本
供应商报价：￥12

晟旗科技（北京）有限公司更新时间：2021-07-27 16:43:59

销售范围售全国

入驻年限第5年

营业执照已审核

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日本KOFLOC质量流量控制器-金属密封北京天津总代理核心参数

测量范围	10SCCM-20SLPM(另外50SLM)	准确度	±1.0%FS
介质温度	5-45℃	工作压力	3
管径范围	标配1/4UJR 选配1/8UJR

产品特点

日本KOFLOC
5400系列质量流量控制器-金属密封

金属密封，泄漏率1*10-11pa•m³/s以下
适用于高真空、半导体、剧毒、强腐蚀气体环境下
±15VDC供电性能稳定，0-5V模拟信号更加通用

详细介绍

5400系列

日本KOFLOC
5400系列质量流量控制器-金属密封

金属密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下

适用于高真空、半导体、剧毒、强腐蚀气体环境下

±15VDC供电性能稳定，0-5V模拟信号更加通用

电气连接

	5400质量流量控制器
量程(N2)	10SCCM-20SLPM(另外50SLM)
精度	±1.0%FS
重复性	±0.2%FS
响应时间	1秒以内
耐压	1.0Mpa
进口最大压力	O.3Mpa
动作压差	0.05-0.3Mpa
泄漏率	*110-11pa·m³/s以下**
温度范围	5-45℃
湿度范围	10-90%RH(不能结露)
材质	本体SUS316L
材质	密封圈SUS316L、PTFE
电气接口	DB9
模拟信号	0-5V输入/输出
供电	+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA；
管路连接	标配1/4UJR
管路连接	选配1/8UJR
重量	约1000g

电气连接

针脚/颜色	定义
1针脚/棕色	阀门全开/全闭
2针脚/白色	0-5V输出
3针脚/红色	+15VDC
4针脚/黑色	电源COM
5针脚/黄色	-15VDC
6针脚/灰色	0-5V输入
7针脚/绿色	输出COM
8针脚/兰色	输入COM
9针脚/紫色	阀门电源输出

使用注意

一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。

二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。

三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。

四：耐压1.0Mpa，进口最大压力3公斤。

五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下再操作。

5100系列

日本KOFLOC
5100系列质量流量控制器-内抛光

金属密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下

内部抛光Ra≤0.1，杜绝二次污染介质

±15VDC供电性能稳定，0-5V模拟信号更加通用

适用于高真空、半导体以及对管路洁净度高要求场合

性能参数

	5100质量流量控制器
量程(N2)	1SCCM-20SLPM
精度	±1.0%FS
重复性	±0.2%FS
响应时间	1秒以内
耐压	1.0Mpa
进口最大压力	O.3Mpa
动作压差	0.05-0.3Mpa
泄漏率	*110-11pa·m³/s以下**
内抛光	Ra≤0.1
温度范围	5-45℃
湿度范围	10-90%RH(不能结露)
材质	本体SUS316L
材质	密封圈SUS316L、PTFE
电气接口	DB9
模拟信号	0-5V输入/输出
供电	+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA；
管路连接	标配1/4UJR
管路连接	选配1/8UJR
重量	约1000g

电气连接

针脚/颜色	定义
1针脚/棕色	阀门全开/全闭
2针脚/白色	0-5V输出
3针脚/红色	+15VDC
4针脚/黑色	电源COM
5针脚/黄色	-15VDC
6针脚/灰色	0-5V输入
7针脚/绿色	输出COM
8针脚/兰色	输入COM
9针脚/紫色	阀门电源输出

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