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昊量/auniontech 石墨烯CVD制备设备CVD
- 品牌:昊量/auniontech
- 型号: CVD
- 产地:徐汇区
- 供应商报价: 面议
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上海昊量光电设备有限公司
更新时间:2024-08-19 14:50:18
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企业性质授权代理商
入驻年限第4年
营业执照已审核
- 同类产品量光常用光学器件(4件)
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- 详细介绍
产品介绍:
这款配置的低真空CVD系统由1200℃真空管式炉,3通道气路系统和真空系统组成,可根据用户需要设计生产有双温区、三温区、多温区),可预抽真空(有高真空、低真空),通多种气氛(供气系统有质子流量控制器和浮子流量控制器〕。真空泵、阀均釆用进口设备,性能可靠。控制电跻选用模糊PD程控技术,具有控温精度髙,温冲幅度小,性能可靠,简单易操作等特点。CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等。
技术参数
1200双温区加热炉
电压 AC220V 50/60Hz
功率 4.5KW 双温控
Max温度 1150 °C
工作温度 ≤ 1100 °C
升温速率 ≤ 15°C/min
温控系统 PID自动控制晶闸管(可控硅)输出功率,30段可编程控制器
恒温精度 ±1°C
石英管 25/50/60/80*1400mm
三路质量流量控制系统
MAX电压 185~245V/50Hz
MAX输出功率 18W
流量计标准量程 50,100,200,500SCCM(非特殊指定以氮气标定,量程可选定)
工作温度 5~45 °C
工作压差 0.1~0.5 MPa
MAX压力 3MPa
准确度 ±1.5%FS
低真空系统
采用双极旋片真空泵
不锈钢充油真空压力表,良好的抗震性
安装过滤器
内置测温系统
测温元件可从加热区边缘延申至温区zhong心法兰密封,保证炉管的密封性测温元件,N型热电偶
法兰及支撑
304不锈钢快速水冷法兰,长期水冷无腐蚀,一个卡箍就能完成法兰的连接,放取物料方便快捷可调节法兰的支撑,平衡炉管的受力支撑。包含进气,出气,真空抽口针阀,KF密封圈及卡箍组合,4个密封硅胶圈等。
可选配件
混气系统,中,高真空系统,各种刚玉坩埚,石英管,计算机控制软件,无纸记录仪,氧含量分析仪,冷却水循环机。