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- 型号： PE-ALD
- 产地：欧洲
- 供应商：深圳市蓝星宇电子科技有限公司
Sentech PE-ALD 等离子体增强原子层沉积 详细介绍 @font-face{font-family:"Times New Roman";}@font-face{font-family:"宋体";}p.MsoNormal{mso-style-name:正文;mso-style-parent:"";margin:0pt;margin-bottom:.0001pt;mso-pagination:;text-align:justify;text-justify:inter-ideograph;font-family
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芬兰PICOUSUN产品：Picosun™ 300mm生产线上的产品是300mm以下晶圆的自动化、高产量的工业ALD加工设备。包括PICOSUN™ P系列Pro和Advanced ALD设备。该工具可以独立工作，也可以集成到PICOPLATFORM™300真空集群系统以达到更高的产量和自动化水平。为了节约昂贵的设施空间，所有PICOSUN™的ALD系统有着紧凑、GX的设计。集成的专业机柜，装载着前驱体和电子元件，保证了快速简便的维护和Z短的停机时间。PICOSUN™ P系列工具保证了产能以及Z节约成本的情况下得到的ALD工艺质量，并履行严格的现代半导体产业的生产力和安全要求。工艺咨询和开发，产能提升，维护保养流程和系统及工艺的故障排除，我们客户化定制的PICOSUPPORT™综合解决方案24小时快速响应，随时待命。在购买之前，我们的演示服务保证了设备可以满足客户Z苛刻的...
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ald原子层沉积系统—SVT
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