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硅单晶材料中缺陷的研究
北京普瑞赛司仪器有限公司更新于：2016-06-12

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随着信息技术及太阳能光伏电池产业的飞速发展，半导体硅产业发展到了新的高潮硅单晶材料在增大直径的同时，对其结构电学化学特征的研究也将日益深入；缺陷控制杂质行为杂质与缺陷的相互作用以及提高单晶硅片的表面质量已经是工艺技术研究的主攻方向研究级倒置wan能显微镜Axio Observer 3m 激光共聚焦扫描显微镜分析级偏光显微镜Axio Lab.A1 Pol

内容节点: 概述; 实验/设备条件; 样品提取; 实验/操作方法; 实验结果/结论; 仪器/耗材清单

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