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氮氧化硅薄膜的研究进展
上海昭沅仪器设备有限公司更新于：2011-03-15

应用行业：食品/饮料/烟草豆制品及蛋制品

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氮氧化硅薄膜材料具有优异的热力学介电及光学性能 ,在微电子光学器件等方面有着重要应用其主要制备方法包括化学气相沉积溅射直接氮化/氧化及离子植入综述了该类材料的制备方法和应用研究进展 , 并指出了制备方法和应用研究的发展方向 TEM用氮化硅薄膜窗口上海昭沅

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