台阶仪作为一种接触式的表面形貌测量仪器,其在很多领域都有着较为广泛的应用。在使用设备的过程中也会有很多注意事项，今天上海尔迪仪器科技有限公司就带大家看看需要注意的地方：

1.取放台阶仪样品时都要贴着样品台。

2.保证被测样品表面干净没有灰尘颗粒以防弄脏针尖。

3.样品台阶不超过要求，不可太粗糟，平面度要在仪器量程内。

4.在测试和启动软件的时候，请确认台阶仪上的门是关着的。

5.在进行测试的时候请勿触摸防震桌或者奔跑等，避免引起较大噪声和震动的活动以免影响测试结果甚至损坏探针。

6.测完数据后及时拷走以防系统崩溃而丢失数据。测完后请关闭总电源

bruker是分子和材料研究以及工业和应用分析科学仪器的制造商。致力于研发高水平、高精度分析仪器。一直坚持为每项分析工作提供高精的技术解决方案。 

Bruker Dektak-XT 台阶仪是五十多年专有技术进步的TOP。它们提供可重复、可靠和准确的测量:从传统的台阶高度测量和二维粗糙度的表面表征到高级三维形貌和薄膜应力分析。bruker台阶仪已被广泛接受为薄膜厚度、应力、表面粗糙度和形貌测量的金标准，应用到从学术研究到半导体过程控制等不同领域。

Bruker Dektak 台阶仪在上海尔迪仪器科技有限公司有售，不知道怎么选型？不知道产品适配什么样的机器？上海尔迪仪器科技有限公司具有免费的售前咨询及方案制定，更多详细资料、产品咨询，可联系我司。

台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器 。根据使用传感器的不同，接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。

产品特点：

·操作简易，从研发到质量控制都有更好的过程控制。

·能够在微电子，半导体，太阳能、超高亮度发光二极管（LED）、医学、材料科学等行业实现纳米级表面形貌测量。

·测量精度较高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好

·可以作为其它形貌测量技术的比对

主要应用范围：

·大学、研究实验室和研究所
·半导体和化合物半导体
·LED：发光二极管

·太阳能
·MEMS：微机电系统
·数据存储
·汽车
·医疗设备

布鲁克DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）是一项创新性的设计，可以提供无与伦比的重现性，重现性低于4A。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年 Dektak 技术创新的顶峰，更加巩固了其行业领先地位。通过整合其行业领先产品，DektakXT实现了高性能。

台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器 。根据使用传感器的不同，接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。

产品特点：

·操作简易，从研发到质量控制都有更好的过程控制。

·能够在微电子，半导体，太阳能、超高亮度发光二极管（LED）、医学、材料科学等行业实现纳米级表面形貌测量。

·测量精度较高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好

·可以作为其它形貌测量技术的比对

主要应用范围：

·大学、研究实验室和研究所
·半导体和化合物半导体
·LED：发光二极管

·太阳能
·MEMS：微机电系统
·数据存储
·汽车
·医疗设备

布鲁克DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）是一项创新性的设计，可以提供无与伦比的重现性，重现性低于4A。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年 Dektak 技术创新的顶峰，更加巩固了其行业领先地位。通过整合其行业领先产品，DektakXT实现了最高性能。

更多详细资料，可联系上海尔迪仪器科技有限公司，拨打电话021-62211270！021-62211270！

Bruker Dektak XT台阶仪在半导体芯片中的应用

台阶仪（探针式轮廓仪）通过记录探针在物体表面的垂直位移，从而达到测量物体表面台阶高度、粗糙度等物理参数的目的。主要用于薄膜材料厚度（2D）测量和表面形貌测量（3D）。台阶仪可精确获得定量的台阶高度、线粗糙度、薄膜曲率半径，测量薄膜应力等。Bruker Dektak XT台阶仪由于其操作简单、分辨率高及重复性良好等优点，被广泛用于半导体、微电子、太阳能、LED、触摸屏、医疗等领域。 Bruker Dektak XT台阶仪有以下特点：

• 高度方向采用先进的LVDT线性位移传感器，该传感器因其结构为无接触式，使其具有无摩擦、无磨损等特点。

• 台阶高度重现性小于4Å。

• 垂直分辨率高达1 Å。

• 标配探针更换工具，保证探针更换安全快捷。

• 标配薄膜应力测试功能。

• 精简的Vision64 软件系统，结合智能结构， 具备可视化工作流程及各种自助设定功能，以满足用户快速并全面进行数据收集和分析。

  
  

 近年来，为了打破国外对我国半导体芯片技术封锁，解决“卡脖子”问题，国家加大对半导体芯片行业的投入。在政府的鼓励及扶持下，各地半导体企业数量也来越多，规模及产能也越来越大。 

晶圆在生产制造的过程中，会对晶圆进行镀膜以及刻蚀工艺，镀膜后要进行膜厚的测量，刻蚀后要进行刻蚀的深度等进行测量，从而判断是否满足工艺要求。台阶仪因其使用方便、快捷、准确等特点，而成为工程师们测膜的选择。

Bruker Dektak XT台阶仪在使用过程中操作简单，整个测试过程在可通过CCD在软件界面中实时观测。

上海尔迪仪器科技有限公司是bruker台阶仪Dektak的授权代理商，bruker台阶仪Dektak在上海尔迪仪器科技有限公司可以购买！

上海尔迪仪器科技有限公司为您提供一站式采购服务，欢迎各位前来咨询！更多详细资料，可联系我司，拨打电话021-61552797！

Bruker Dektak 台阶仪是五十多年专有技术进步的顶峰。它们提供可重复、可靠和准确的测量:从传统的台阶高度测量和二维粗糙度的表面表征到高级三维形貌和薄膜应力分析。bruker台阶仪已被广泛接受为薄膜厚度、应力、表面粗糙度和形貌测量的金标准，应用到从学术研究到半导体过程控制等不同领域。

薄膜监测 — 高效率的保证

对于半导体制造行业而言，及时监测镀膜膜厚和刻蚀速率的均匀性以及薄膜应力，

能节省宝贵的时间和金钱。不均匀的膜层或过大的应力，将导致差的优良率和不合格

的终端产品性能。DektakXT 易于设定、测量快捷，通过不同位置的多点自动测量可确

认整片硅表面上薄膜的准确厚度，其精度可达纳米级别。DektakXT 的测量重复性

为工程师们提供准确的薄膜厚度和应力测量，使其可以精确调节刻蚀和镀膜工艺来提

高产品的优良率。

测量表面粗糙度 — 确保材料质量

在自动化，航空航天，医药领域等各行各业，如果需要精确测量材料表面的粗糙度，

DektakXT 是一个非常理想的检测仪器。比如在整形手术中需要植入的假体，在其背面

涂覆的羟基磷灰石，它的表面粗糙度会影响假体植入到体内后的黏附性和手术效果。使

用 DektakXT 快速检测材料表面的粗糙度，可以获悉晶体材料的生长是否符合工程师的

要求，或者手术所需的植入体是否通过医学审核允许使用。使用 Vision64 软件中的数

据库功能，设定合格/淘汰条件，品管人员可以轻松确定植入体是否需要再加工还是定

为合格品。

太阳能电池栅线分析——降低生产成本

在太阳能领域，Dektak 已被作为测量单晶和多晶硅电池上主栅、银线特征尺寸的首

选设备。栅线的高度、宽度和连续性都直接影响了太阳能电池的能量传输能力。生产

过程中的佳方案是节约贵金属银的使用量，同时又保证银浆的量足够覆盖在电池板上，

完成佳的电导特性。 DektakXT 可使用线条分析功能为用户提供栅线的特征尺寸，以

确保足够的银浆覆盖，导电良好。Vision64 的数据分析方法和自动操作功能使这一检验

核实的过程可以通过特定设置后自动完成。

微流体- 确保符合设计和质量要求

Dektak 是市场上可以测量敏感材质上高达 1mm 垂直台阶的台阶仪，而且测量重复

性在埃米级别。DektakXT 为微机电系统和微流体工业的研究者提供了关键尺寸测量的可靠

手段，以确保器件符合规格要求。超微力测量，Nlite+，可以保证在测量敏感材质时轻触

其表面而不破坏样品表面，得到台阶高度或表面粗糙度数据。

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