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CVD专用氢气发生器的正常运行，维护保养是不可或缺的。规范的维护保养操作流程不仅可以提高仪器的使用寿命，增加使用年限。同时也能提高操作员的工作效率，增加收益。那么在进行维护保养的时候有哪些需要注意的地方？

氢气发生器由电解池、纯水箱、氢/水分离器、收集器、干燥器、传感器、压力调节阀、开关电源等部件组成。只电解纯水即可产氢。通电后，电解池阴极产氢气，阳极产氧气，氢气进入氢/水分离器。氧气排入大气。氢/水分离器将氢气和水分离。氢气进入干燥器除湿后，经稳压阀、调节阀调整到额定压力（～可调）由出口输出。电解池的产氢压力由传感器控制在左右，当压力达到设定值时，电解池电源供应切断；压力下降，低于设定值时电源恢复供电。

1、依据使用频率，及时更换变色硅胶，其他过滤材料在两三个月更换一次。

2、配置的电解液，当水减少时，直接添加二次蒸馏水或去离子水就可以，注意不要超过上水位线，当使用两三个月的时间后，将电解液从电解池中倒出，重新配比电解液，一般为15%的KOH溶液。

3、使用过程中，注意仪器外部连接件不要漏气，以确保气体的流量和压力稳定。

4、更换过滤材料时，注意过滤器盖及底座部分是否拧紧。

5、更换CVD专用氢气发生器电解液时，注意不要将电解液洒到仪器上，防止腐蚀。

（内容源于网络）