工具显微镜作为常用的测量工具对零件有多种测量方法，以下介绍几种常用的测定方法：
1、直角坐标的测定：
测定物的直角坐标方向和十字形工作台的移动方向一致时方可进行测定。十字移动工作台的移动量就可直接读取直角坐标值。如大型工具显微镜，使用瞄准孔直角坐标测定上的像连接观测眼即可正确测定，而进行测定物直角坐标方向和十字移动工作台校正时，需使用装设在大型工具显微镜上的装配式旋转工作台，小型工具显微镜只要旋转台附件即可。
2、角度的测定：
使用旋转工作台或角度观测透镜即可进行测定。角度观测透镜的精度比较好。
3、高度的测定：
小型工具显微镜虽然无法测定高度，但是如果把量银装在支柱的上端，然后利用显微镜的上下移动量即可测定高度。但是由于焦点深度、支柱倾度及量银和光轴间等因素影响，正确测定还是比较困难。
4、孔径的测定：
一般使用角度观测透镜测定。大型工具显微镜可使用重叠影象观测透镜或者光学探测子，就是使用重叠影象透镜，使生成的两种像重叠，接着在相对的一方也是同样，于是由移动量即可显示孔的内径。如若使用光学探测器，先将它装设在3倍的对物透镜上，然后对准探测子和工作台的移动方向，再调整观测镜内之重叠线平行于观测透镜的十字线，而使测定子接触孔穴面，Z后用Y轴上的进给校正重叠线的逆向移动，并用X轴进给使重叠线夹住观测透镜的十子线，即可读取X轴上的测定值。相对侧的孔穴也这样，所以读取的差值再加上探测子的直径即可获得孔穴内径。
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