四探针测试仪测试电阻率的优势
四探针测试仪的测量原理:测量电阻率的方法很多,如三探针法、电容-电压法、扩展电阻法等,四探针法则是一种广泛采用的标准方法,高温四探针测试仪采用经典直排四探针原理,同时采用了双电测组合四探针法。
经典的直排四探针法测试电阻率,要求使用等间距的探针,如果针间距离不等或探针有游移,就会造成实验误差。当被测片较小或在大片边缘附近测量时,要求计入电场畸变的影响进行边界修正。
采用双电测组合四探针的出现,为提高薄膜电阻和体电阻率测量准确度创造了有利条件。
四探针测试仪采用双电测组合四探针法的优势:
1.高速加热与冷却方式
高能量的红外灯和镀金反射方式允许高速加热到高湿。同时炉体可配置水冷系统,增设气体冷却装置,可实现快速冷却。
2.温度***控制
近红外镀金聚焦炉和温度控制器的组合使用,可以精确控制样品的温度(远比普通加温方式)。此外,冷却速度和保持在任何温度下可提供***。
3.不同环境下的加热与冷却
加热/冷却可用真空、气氛环境、低温高纯度惰性气体静态或流动) ,操作简单,使用石英玻璃制成。红外线可传送到加热/冷却室。
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