JSM-7610F低加速电压下的高分辨率元素分析
JSM-7610F热场发射扫描电子显微镜配备了肖特基热场发射电子枪，因此可以获得很大的探针电流。下面是对各种样品的快速元素分析结果。
STEM EDS分析DRAM
重量 % 加速电压: 30 kV 探针电流: 2 nA 时间: 10 分钟
利用60mm2 和100mm2EDS检测器的结果。
JSM-7610F使用2个EDS检测器，可以分析6 nm的线宽。
SEM/EDS分析锂离子电容器(LiCoO2)的阴极材料
净计数
加速电压 : 1 kV 探针电流 : 15 nA 时间 : 10 分钟
利用60 mm2 和100 mm2EDS检测器的结果
JSM-7610F使用2个EDS检测器，可以分析6 nm的线宽。
利用两个EDS检测器获得的图像无阴影效应。 此外，利用7610F的大探针电流，即使在低加速电压下也能在较短时间内完成分析。
标签：热场发射扫描电子显微镜
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