Profilm 3D光学轮廓仪 核心参数
| 仪器分类: | 非接触式 |
详细介绍
Profilm3D 光学轮廓仪
低成本–高精度
Profilm3D使用的垂直干涉扫描(WLI)与高精度的相位干涉(PSI)技术。实现次纳米级的表面形貌研究。
100mm自动XY样品台
我们现在每台Profilm3D都将100mm自动XY样品台，4孔物镜转台和手动调平装置作为标准配置。
视场范围
Profilm3D仅用10倍物镜就提供了达到2mm的视场范围，同时其支持4倍光学变焦的功能缓解了不同应用时切换多个物镜的需求。
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产品优势
Profilm3D仅用10倍物镜就提供了达到2mm的视场范围，同时其zuida4倍光学变焦的功能缓解了不同应用时切换多个物镜的需求。这些都进一步降低了采购成本。
