详细介绍
LSxxX.lab.O/R系列压电纳米线性位移台特点:
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• 超安静运动,20HZ驱动频率
• 闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0)
• 高精度空间传感分辨率(.0)10nm(默认);4.88nm2.44nm,lnm可选
• 经济型空间传感分辨率(R)100-200nm
• 最小步伐约10 nm
• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容旋转台,摇摆台
•高真空 (HV) 和超高真空支持无磁 (NM) 、(UHV) 选件
命名规则
命名规则
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LSxxX.lab.O/R系列 压电纳米线性位移台选型表
型号 | LS25x.Lab.R | LS35x.Lab.o/R | LS65x.Lab.O/R |
底面尺寸×高度(mm) | 25×25×10 | 35×35×12 | 65×65×13 |
主体材质 | 默认不锈钢(可选铝合金、纯钛版) | ||
自重(g) | 40g | 102g(.R)200g(.O) | 200g(.O) |
运动行程(mm) | 8 | 20 | 30 |
ZD速度(mm/s) | -20 | ||
最小步伐(nm) | ~15 | ~10 | ~10 |
重复定位精度(nm) | / | 300 | 200 |
驱动频率 | Max. 20 kHz (超安静运动) | ||
ZD水平推力(N) | 2 | ||
保持力 | 5 | 5 | 5 |
全行程俯仰/偏摆 | 0.2 mrad / 0.3 mrad(0.012°/0.017°) | ||
水平负载 | 500g | 500g | 2000g |
竖直负载 | 200g | 200g | 150g |
位置传感类型 | - 电阻型传感( .R ) | -电阻型传感( .R ) -光栅尺传感(.O ) | -电阻型传感( .R ) -光栅尺传感(.O ) |
位置传感量程(mm) | 8 | 20 | 30 |
位置传感分辨率 |
- 150nm | 电阻型传感( .R ), 100-200 nm - 光栅尺传感(.O ), 10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选 |
- 电阻型传感( .R ),100-200 nm - 光栅尺传感(.O ),10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选 |
尺寸图
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